Surfaces
Traitements
Plasma sous vide ISYTECH
- Traitements Ar, O2 et N2
- Traitement fluoré (CF4)
- Autres gaz sur demande
- Cet équipement est localisé en salle propre (ISO7)
Plasma atmosphérique AXCYS avec
- Système de pulvérisation (dépose de polymères en solution)
- Système de vaporisation (dépose de précurseurs)
Tunnel UV Fusion system corporation
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Contrôles
Goniomètre OCA 20 (Data Physics)
- Mesures des angles de contact (3 liquides)
- Calcul des énergies de surfaces
Microscopie électronique à balayage à pression variable (MEB) et détecteur de rayons X
- MEBpv Hitachi 3200N
- EDS XFlash 6130 de Bruker
AFM, XPS, MEB à effet de champ
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